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气路泄露排查从气源泄露和内部泄露下手
气源泄漏检查:
1.先【xiān】切断主机【jī】、温度流量控制器的电源【yuán】。打开气【qì】瓶上【shàng】的主阀并【bìng】将气源分压调节到0.4MPa。
2.将各气【qì】源的【de】两级压力调节器的【de】分压控制手【shǒu】柄返回原【yuán】位,监测分压表,10分钟之内【nèi】压【yā】力应没有【yǒu】明显【xiǎn】下降【jiàng】。如果【guǒ】有泄漏,应仔细检查各气路管【guǎn】线的接头,并找出泄漏的位置【zhì】。泄漏的接头只要上【shàng】紧到【dào】足以阻止泄漏即可。过紧会【huì】损坏套【tào】圈和【hé】接头。
注【zhù】意:检测气路是否泄漏时,应注【zhù】意不要弄【nòng】潮湿【shī】任何电气或电子部件,否则会【huì】严重损【sǔn】坏部件【jiàn】。
内部泄漏检查:
系【xì】统【tǒng】内【nèi】部气体连接【jiē】管线在【zài】仪器发货前都【dōu】作过仔细的【de】检查【chá】和泄漏试【shì】验。如果系统未作任何升级改动或维修,一般不需【xū】检查泄漏。用户在安装气【qì】路【lù】系【xì】统的有关【guān】部件(如石英裂解管)时,必须严格【gé】按照本手册【cè】中有关章节规定【dìng】的操作步骤进行。只要正确安装【zhuāng】这【zhè】些部件,一般【bān】不必检【jiǎn】查泄漏。